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3、涂层
第四步工序“涂层”包括利用PVD工艺进行涂层及随后的出厂检查。出厂检查可以利用Kalotten球磨方法确定涂层厚度和涂层附着力 。
涂层步骤:
抽真空
加热
刻蚀
涂层
冷却
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